日本愛發(fā)科ULVAC LS120A、LS300A、LS600A、LS1200A螺桿型干泵

簡要描述：特點■大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時間

產(chǎn)品型號：

所屬分類：行業(yè)專用儀器儀表

更新時間：2025-12-12

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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詳情介紹

特點

■大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時間。
■ECO-SHOCK技術實現(xiàn)低功耗（C型號）
極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低（LS120A-C）
■配有專用的消音器。極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低
■無需先前所需要的軸封氣體。※L型可以使用稀釋氣體。
■排氣速度120-1200 m3 / h級　※可與機械增壓泵結(jié)合使用可以根據(jù)應用選擇排氣能力的型號

用途

C 規(guī)格：清潔工藝　（LS A-C）
特征：低功耗型，內(nèi)置ECO-SHOCK
用途：用于清潔氣體排氣，如空氣排氣和N2排氣
濺射/蒸發(fā)/貼合/load lock室/TMP輔助等等
L 規(guī)格：輕工藝（LS A-L）
特征：具有表面處理和清洗功能的輕工藝類型
用途：用于輕工藝，如水蒸氣和揮發(fā)性化學液體排氣
真空干燥/冷凍干燥/塵化/一般產(chǎn)業(yè)用途等等